热式气体质量流量计专用于单一组分的气体或固定比例的混合气体测量，目前已广泛应用于石油、化工、半导体、医疗仪器、生物工程、燃烧控制、配气、环境监测、精密仪器、科研、计量、食品、冶金、航天航空等领域。

热式质量流量计用于精密测量和自动控制气体的质量流量。采用标准输入输出信号，可实现计算机集中控制。在大庆石化公司就有多种形式的应用，比如聚丙烯装置氢气流量表FT-121A/B采用的是BROOKS量热流量计，量程为1.45Kg/H和9.5Kg/H。与传统的流量计相比，它不需配置温度、压力变送器，不用进行温度、压力的补偿就能直接测量质量流量(在标准状态下，0℃，101.325KPa)。当气体作为生产过程中的控制变量时(例如燃烧、化学反应、通风排气、产品烘干等)，使用质量流量控制器直接测量，可控制气体的克分子数量。

如果要保持定量的气体混合作为混料或配料，或者要优化化学反应过程，到目前为止还没有比使用质量流量控制器更好的技术。质量流量控制器连续可调控制流量，通过显示仪还可获得累积流量。

热式质量流量计还是管道系统、阀门类密封性检测的较好仪器，它直接显示漏气量。质量流量计性能价格比高，易于安装，操作简便，使用质量流量计和质量流量控制器产品是最合理的选择之一。

由于此类质量流量计的传感器是热式原理，如果气体不是干燥的气体，将影响传热效率，从而影响传感器的输出信号和测量精度。